2024年9月25日，第十二届（2024年）中国电子专用设备工业协会半导体设备年会、第十二届半导体设备与核心部件展示会（CSEAC 2024）在无锡隆重开幕。本届大会以“创新驱动 合作共赢”为主题，汇聚行业领导、专家学者、企业领袖等业界精英，围绕半导体设备领域的创新技术、市场趋势及产业链整合等议题，分享最新的研究成果和实践经验。

展台展示

东方晶源携三款电子束量测检测设备亮相本次大会，通过展览展示、论坛演讲等形式，向外界展示最新成果，彰显出在该领域的技术实力和卓越的领导力。在东方晶源展台，参观者络绎不绝，与工作人员深入沟通产品细节，洽谈合作商机。

专题演讲

在专题论坛七中，东方晶源资深产品总监带来题为《先进工艺电子束量测设备国产化的机遇和挑战》。演讲指出，目前先进工艺中的电子束量测设备面临四大挑战，包括：Low Dose High Resolution、HAR and BSE imaging、Tight Matching and High TpT、Smart ECO system。为应对上述挑战，东方晶源自研新一代EOS系统，推出High TpT & Matching Solution解决方案以及oDAS (offline Data Analysis System)离线数据处理系统，实现旗下电子束量测设备CD-SEM在量测性能和速度上的全面提升。

未来，东方晶源将继续夯实在电子束量测检测方面的专利储备和技术优势，进行更多产品布局，并通过更多系统化的优化升级提升整机性能，为电子束量测检测设备国产化攻关贡献更多力量。